薄膜體積和表面電阻率測試儀

薄膜體積和表面電阻率測試儀  采用了美國Intel公司的大規模集成電路,使儀器體積小、重量輕、準確度高。以雙3.1/2 位數字直接顯示電阻的高阻計和電流。量限從1×104Ω ～1×1018 Ω，是目前國內測量范圍 寬，準確度 高的數字超高阻測量儀。電流測量范圍為2×10-4 ～1×10-16Ａ。機內測試電壓為10/50/100/250/500/1000V任意可調。本儀器具有精度高、顯示迅速、性好穩定、讀數方便， 適用于防靜電產品如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計算機房防靜電活動地板等電阻值的檢驗以及絕緣材料和電子電器產品的絕緣電阻測量

薄膜體積和表面電阻率測試儀   技術指標

1,電阻測量范圍： 0.01×104Ω ～1×1018Ω。

2,電流測量范圍為： 2×10-4A～1×10-16A

3,顯 示 方 式：數字液晶顯示

4,內置測試電壓： 10V ,50V,100V,250,500,1000V

5,基本準確度：1% (*注)

6,使用環境： 溫度：0℃～40℃,相對濕度<80%

7,機內測試電壓： 10V/50V/100/250/500/1000V 任意切換

8,供電形式： AC 220V,50HZ,功耗約5W

9,儀器尺寸： 285ｍｍ× 245ｍｍ× 120 mm

10,質量： 約5KG

使用條件

①環境溫度： 0～40℃

②相對溫度：≤70%

③供電電流：交流 220V±10%50Hz

標準配置：

 1、儀器主機 一臺

 2、屏蔽箱一個

 3、試驗電極三個

 4、說明書一本

 5、電源線一條

 6、數據線三條

 7、合格證一份

 8、保修卡一份

使用方法

1接好電源線

確保電源為220VAC/50Hz

2接通電源

   將電流電阻量程置于 104 檔,電壓量程置于10V，然后開機。

3調零

在“Rx”兩端開路的情況下,調零使電流表的顯示為0000 .注意：在“Rx”兩端不開路，如接在電阻箱或被測量物體上時調零后測量會產生很大的誤差。一般一次調零后在測試過程中不需再調零。 完畢后關機。

4連接線路

    接好測試線，將測試線將主機與屏蔽箱連接好，測體積電阻時測試按鈕撥到Rv邊，測表面電阻時測試按鈕撥到Rs邊。然后開機。

5選擇合適的測量電壓

★電壓選擇開關在后面板，注意，在測試過程中不要隨意改動測量電壓，可能因電壓的過高或電流過大損壞被測試器件或測試儀器;

6測試

測量時從低檔位逐漸拔往高檔，每撥一次稍停留1～2秒以使觀察顯示數字， 當被測電阻大于儀器測量量程時，電阻表顯示“1”，此時應繼續將儀器撥到量程更高的位置，當測量儀器有顯示值時應停下，當前的數字乘以檔次即是被測電阻值。當有顯示數字時不要再往更高次檔撥，否測儀器會過量程，機內保護電路開始工作，儀器測量準確度會下降。

7 測試完畢將電阻電流量程拔至“104 ”檔，電壓量程調至10V后關閉電源

★每測量一次均應將量程開關撥回到104“調零”檔的量程位置以免開機或測量端短路時而損壞儀器。

8 測量電流及1015Ω以上超高電阻的測量應用測量電流后用歐姆定律以電壓除以電流計算電阻的方法，詳見8.5節內容。

9 體積電阻和表面電阻轉換

★在測試過程中，使用屏蔽箱在進行體積電阻和表面電阻轉換時，必須把電源關閉后進行檔位轉換，否則會導致電壓沖擊到主機無法顯示或損壞。

三電極接線說明

    測量電阻可用二電極，一個接高壓電極，另一個接電流電極就行了，儀器的地線用于屏蔽用，在測量高電阻時要與屏蔽箱的地相接以防干擾。測量低電阻時 可以不用。國家標準 GB1410《 固體絕緣材料絕緣體積電阻率和表面電阻率試驗方 法》中推薦一種三電極測量方法：

它是由三個獨立的電極組成:

1.中心為圓柱體,直徑為50mm, 標準中沒有規定高度，但一般是40mm

2.圓柱體外為一圓環,圓環內徑為60mm,外徑為80mm, 標準中沒有規定高度，但一般是40mm

3.底為一平板, 直徑為100mm的圓板. 標準中沒有規定厚度，但一般為5mm

如果使用這種三電極測量材料表面電阻或體積電阻，可以按下圖接線：

4.測表面電阻：（電流流過被測量物體表面時測得的電阻）

儀器高壓輸出（紅）接圓環電極

儀器電流輸入端（芯線）接圓柱電極

儀器地（黑，屏蔽線）接圓盤電極

5.測體積電阻：（電流流過被測量物體體內時測得的電阻）

儀器高壓輸出（紅）接圓盤電極

儀器電流輸入端（芯線）接圓柱電極

儀器地（黑，屏蔽線）接圓環電極

    請將被測量材料放在圓盤電極上面，并且圓柱電極放在圓環電極的中間，先將屏蔽箱上的開關撥在中間0位置時，此時沒有高壓輸出，將屏蔽箱蓋好，然后再與儀器接線。

    如果開關是在左邊的Rv位置時，測量的是體積電阻Rv，此時電壓加在底下的圓盤電極上，電流從圓盤電極經被測量材料體內流到柱電極。

    如果開關是在右邊的Rs位置時，測量的是表面電阻Rs，此時圓環電極改變為電壓，圓盤電極為接線，電流從圓環電極經材料表面流到圓柱電極。

儀器測量常見問題

1 為什么在測量同一物體時用不同的電阻量程有不同的讀數？

    這是因為測量電阻時為防止過電壓損壞儀器，如果出現過量程時儀器內保護電路開始工作，將測試電壓降下來以保護機內放大器。在不同的電壓下測量同一物體會有不同的結果。而且當測量電阻時若讀數小于199，既只為三位數且di一位數為1 時，其準確度要下降。所以在測量電阻時當di一次讀數從1 變為某一讀數時，不應再往更高的量程扭開關以防對儀器造成過大的電流沖擊。在實際使用時，即讀數位數多的比讀數位數少的準確度高。

2為什么測量一些物體的電流時用不同的量程也會出現測出結果相差較大？

    這是因為一般物體輸出的電流不是恒定流，而儀器有一定內阻，若在儀器上所選量程的內阻過大以至于在儀器上的電壓降影響被測物體的輸出電流時會造成測量誤差。一般電流越小的量程內阻越高，所以在測量電流時應選用電流大的量程。在實際使用時即只要電流表有讀數時，讀數位數少的小的比讀數位數多的準確度高。

3為什么測量時儀器的讀數總是不穩？

    一般的材料其導電性不是嚴格像標準電阻樣在一定的電壓下有很穩定的電流，有很多材料特別是防靜電材料其導電性不符合歐姆定律，所以在測量時其讀數不穩。

    這不是儀器的問題，而是被測量物體的性能決定的。有的標準規定以測量1分鐘時間的讀數為準。通常在測量高電阻或微電流時測量準確度因重復性不好，對測量讀數只要求2位或3位。另外在測量大電阻時如果屏蔽不好也會因外界的電磁信號對儀器測量結果造成讀數不穩。

4為什么測量完畢時一定要將量程開關再撥到104檔后才能關電源？

    這是因為在測量時被測物體及儀器輸入端都有一定的電容，這個電容在測量時已被充電到測量電時的電壓值，如果儀器不撥到104擋后關電源這個充電后的電容器會對儀器內的放大器放電而造成儀器損壞。當被測量物體電容越大，測試電壓越高時，電容器所儲藏的電能越大，更容易損壞儀器，特別是在電阻的高量程或電流的低量程時因儀器非常靈敏，儀器過載而損壞的可能性更大。所以一定要將量程開關再撥到104擋后才能關電源。

5 為什么在測量電阻過程中不要改變對被測物的測試電壓？

    在測量電阻過程中如果改變對被測物的測試電壓，無論電壓變高或變低時都將會產生大脈沖電流，這個大的電流很有可能使儀器過量程甚至更損壞儀器。另一方面如果電壓突然變化也會通過被測量物體的（分布）電容放電或反向放電對測量儀器造成沖擊而損壞儀器。有的物體的耐壓較低，當您改變測量電壓時有右能擊穿而產生大電流損壞儀器。如果要改變測量電壓，在確保被測量物體不會因電壓過高擊穿時，要先將量程開關撥到104檔后關閉電源，再從儀器后面板調整到所要求的電壓。有的材料是非線性的，即電壓與電流是不符合歐姆定律，有改變電壓時由于電流不是線性變化，所以測量的電阻也會變化。

6為什么測量完畢要將電壓量程開關再撥到10V檔后關閉電源？

    這是因為機內的電容器充有很高的電壓（zui高電壓達1200V以上），這些電容器的所帶的電能保持較長的時間，如果將電壓量程開關再撥到10V檔后關閉電源，則會將機內的高壓電容器很快放電，不會在測量的高壓端留有很危險的電壓造成電擊。如果僅撥電源線而不是將電壓調至10V檔，雖然斷了電源，但機內高壓電容器還有會因長時間保持很高的電壓，將會對人員或其它物體造成電擊或損壞。在儀器有問題時也不要隨便打開機箱因機內高壓造成電擊，要將儀器找專業技術人員或寄回廠家修理。

報告

報告應至少包括下述情況：

a) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）關于材料的說明和標志（名稱、等級、顏色、制造商等）；

b) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）試樣的形狀和尺寸；

c) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）電極和保護裝置的形式、材料和尺寸；

d) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）試樣的處理（清潔、預干燥、處理時間、濕度和溫度）等；

e) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）試驗條件（試樣溫度、相對由度）；

f) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）測量方法；

g) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）施加電壓；

h) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）體和、電阻率（需要時）；

注1：當規定了一個固定的電化時間時，注明此時間，給出個別值，并報告中值作為體積電阻率。

注 2 ： 當在不同的電化時間后測試時，應按如下要求報告：

當在相同的電化時間里試樣達到一個穩定狀態肘，給出個別值，并報告中值作為體積電阻率。 在這個電化時 間里有某些試樣不能達到穩定狀態，則報告不能達到穩定狀態的試樣數，并分別地給出它們的結果。 當測試結果取決于電化時間時，則報告它們之間的關系，例如．以圖的形式或給出在電化Imin、10min和100min后的體積電阻率的中值。

i) 表面電阻率（需要時）：

給出電化時間為1 min的個別值，并報告其中值作為表面電阻率

關于儀器質保：1、北廣儀器保證提供的設備為需方的全新設備，其各項技術指標均符合相關的產品技術要求。2、設備經客戶驗收合格后，開始計算保修期，設備免費保修期為壹年，設備在質量保質期內，產品在非人為損壞的情況下，由北廣儀器負責全保。北廣儀器的客服在得到通知后24小時內響應，安排約定維修細節。3、質保期后，我們免費為您維修維護設備，除大型設備外所有設備一律返廠維修，經檢驗后，告知客戶問題所在及解決方式，經客戶同意后進行維修，維修后發回客戶，對于損壞及更換的零部件我們只收取成本費；如客戶不認同我們的檢驗結果，雙方另協商維修細節。

關于儀器返廠維修：1、維修維護全面 ：設備損壞后，使用者往往對設備損壞情況描述不清、不全面，經常會出現技術人員到達現場之后，發現工具不全或者零配件需要更換卻沒有提前準備零配件，常常會造成被動或者維修遲緩的局面，耽誤客戶使用。設備返廠維修，廠內零配件及工具齊全，技術人員在維修設備同時，按照公司要求會利用廠內設施為返廠的設備做系統的維護，將一些細微的毛病及早解決。2、響應速度快 ：設備損壞后，我們即使以 快的速度為您安排相關的技術人員出差，也要走流程等待技術部門安排具體的人員出差，往往需要一定時間。有時因為技術人員連續出差，耽擱在某地，偶爾還會耽誤與客戶提前約定好的時間。 現在物流快遞行業發達，全國各地運輸都很快捷方便，返廠維修往往能更省事省力。